중국, 자국산 DUV 노광장비 양산 돌입

중국이 자국 기술로 개발한 DUV(심자외선) 반도체 노광 장비의 양산에 돌입했다고 미국 IT 전문 매체 더 인포메이션이 보도했다. 첨단 반도체 장비 수입이 제한된 환경에서 중국이 장비 국산화 측면에서 실질적인 진전을 이뤘음을 보여주는 사례다. DUV는 EUV(극자외선)보다 한 세대 앞선 노광 기술이지만, 28나노 이상의 성숙 공정 대부분을 담당할 뿐 아니라 멀티 패터닝 기법을 병행하면 7나노급 공정 생산까지 가능한 반도체 제조의 핵심 설비다. 그동안 DUV 노광기 시장은 네덜란드 ASML과 일본 니콘, 캐논 등 소수 업체가 사실상 과점해 왔다. 미국과 네덜란드는 2023년부터 중국향 고사양 DUV 장비의 수출 허가를 단계적으로 강화하며 중국의 선단 공정 접근을 차단해 왔다. 이번 자국산 장비 양산은 이러한 수출 통제 체제의 실효성을 시간이 지날수록 약화시키는 변수로 작용한다. 시장 관점에서 핵심은 매출 구조다. 중국은 글로벌 전공정 장비 업체들에게 최대 매출처 중 하나로, 중국 파운드리들이 국산 장비 채택 비중을 늘릴수록 해외 장비사의 중국향 수주는 구조적으로 감소하는 방향이다. 노광기를 직접 판매하지 않는 어플라이드 머티어리얼즈, 램리서치, KLA 등도 중국 장비 자립화 흐름이 식각·증착·계측 영역으로 확산될 경우 동일한 압력에 노출된다. 다만 노광 장비는 정밀 광학계와 스테이지, 계측 기술이 복합적으로 결합된 분야로, 양산 개시 선언과 실제 대량 생산 라인에서의 수율·가동률·가동 안정성 확보는 전혀 다른 문제다. 투자자들은 중국 파운드리의 실제 도입 규모와 장비의 해상력 스펙, 그리고 해외 장비 업체들의 분기별 중국 매출 비중 추이를 함께 확인할 필요가 있다.